ドライ真空ポンプ省電力化アタッチメント
ECO-SHOCK ES10
ECO-SHOCK（エコショック）は、現在ご使用のドライ真空ポンプに取り付けることによって、ドライポンプの大幅な省エネを可能にする画期的なアタッチメントです。
用途
- 空気、窒素、アルゴン等の不活性ガス排気に使用しているドライ真空ポンプ
- スパッタリングなどの、仕込み取り出し室に使用しているドライ真空ポンプ
特長
- ドライ真空ポンプの消費電力を最大80%（当社比）削減可能
- 全圧力領域において排気速度の低下なし
- 設置が簡単
仕様
| 型式 | ES10 | |
| 電源 | 仕様 | AC100〜220V 50/60Hz 1phase |
| 消費電力 | 65W（ドライポンプの使用プロセスガス、パージガス 0 Pa·m3/s） | |
| 制御 | 入力 | Remote start/stop (接点 DC24V 有電圧) 接点容量 2.0A 以上の無電圧接点をご準備ください |
| 出力 | 過電流アラーム出力 (接点 無電圧) 接点容量:DC24V 1.0A |
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| 操作 | 手動起動スイッチ | |
| 表示 | 運転時間を表示 | |
| 外観 | 寸法 | 本体ユニット:175mm×310mm×240mm バルブユニット:φ66mm×110mm(NW40) |
| 質量 | 本体ユニット:8.3kg バルブユニット:800g | |
| 接続 | 接続ポート | G1/4" (INLET、OUTLET) コネクタ取付け済み |
| 推奨配管 | φ9.52mm以上 長さ:3m以下 | |
| メーカー | ULVAC | ||||
| 機種名 | LR60 | LR90 | LR180 | ||
| 排気速度 *1 | 1300L/min | 2100L/min | 3980L/min | ||
| 実測消費電力 *2 | 2.1kW | 3.6kW | 6.6kW | ||
| Measured power consumption ECO-SHOCKを 付属した場合の 実測消費電力 *2 *3 *4 |
0.7kW | 1.0kW | 1.6kW | ||
| 電力削減率 | 67% | 72% | 76% | ||
| *1 | 電源周波数60Hz |
| *2 | 消費電力は到達圧力時の代表値 |
| *3 | ECO-SHOCKの消費電力を含む |
| *4 | シールガス、ガスバラ流量0Pa·m3/sの場合。シールガス、ガスバラの流量により異なります。 |
